건식 진공 펌프. 건식 진공 펌프. 스크롤 진공 펌프

진공 펌프 수령 펼친산업과 과학의 다양한 분야에서. 진공 펌프의 주요 용도는 밀봉된 공간에서 공기나 가스를 제거하고 그 안에 진공을 생성하는 것입니다. 진공 펌프의 가장 일반적인 유형, 특성, 작동 원리 및 주요 응용 분야를 살펴보겠습니다.

진공 펌프는 작동 압력 범위에 따라 다음과 같이 분류됩니다.

1차(전진공) 펌프,
부스터 펌프
보조 펌프.

각 압력 범위에서는 다양한 유형의 진공 펌프가 사용되며 설계도 다릅니다. 이러한 각 유형은 가능한 압력 범위, 성능, 가격 및 빈도, 유지 관리 용이성 등의 영역 중 하나에서 고유한 장점을 가지고 있습니다.

진공 펌프의 설계에 관계없이 기본 작동 원리는 동일합니다. 진공 펌프는 진공 챔버(또는 직렬로 연결된 경우 고압 진공 펌프의 출구)에서 공기 및 기타 가스 분자를 제거합니다.

챔버의 압력이 감소함에 따라 추가 분자를 제거하는 것은 기하급수적으로 더 어려워집니다. 따라서 산업용 진공 시스템은 1 torr의 광범위한 압력을 포괄해야 합니다. 과학 분야에서 이 수치는 torr 이하에 이릅니다.

다음과 같은 압력 범위가 구별됩니다.

저진공: >대기압 ~ 1 torr
중간 진공: 1 torr ~ 10-3 torr
고진공: 10-3 torr ~ 10-7 torr
초고진공: 10-7 torr ~ 10-11 torr
극고진공:< 10-11 торр

압력 범위에 대한 진공 펌프의 대응:

1차(전진공) 펌프 - 저진공.

부스터 펌프 - 저진공.

2차(고진공) 펌프: 고진공, 초고진공, 극고진공.

가스 작업 원리에 따른 진공 펌프 분류

진공 펌프에서 가스를 사용하는 데는 두 가지 주요 기술이 있습니다.

가스 펌핑
가스 포집

가스 펌핑 기술을 사용하여 작동하는 펌프는 키네틱 펌프와 용적식 펌프로 구분됩니다.

키네틱 펌프는 펌프 입구에서 출구까지 가스의 지속적인 이동을 보장하기 위해 고속 블레이드에서 가스 분자로 운동량을 전달하는 원리로 작동합니다. 운동 펌프에는 일반적으로 밀봉된 진공 챔버가 없지만 낮은 압력에서 높은 압축비를 달성할 수 있습니다.

용적식 펌프는 일정량의 가스를 기계적으로 포집하여 펌프를 통해 이동시키는 방식으로 작동합니다. 밀봉된 챔버에서 가스는 더 높은 압력에서 더 작은 부피로 압축된 후 압축된 가스가 대기 중(또는 다음 펌프)으로 강제 유입됩니다.

일반적으로 운동 및 체적 측정은 더 높은 진공 및 유량을 제공하기 위해 직렬로 작동합니다. 예를 들어, 터보분자(운동) 펌프는 스크류(변위) 펌프와 직렬로 조립되어 단일 장치로 공급되는 경우가 많습니다.

가스 포집 기술을 사용하는 펌프는 표면의 가스 분자를 포집합니다. 진공 시스템. 이 펌프는 이송 펌프보다 낮은 유량으로 작동하지만 여전히 초고압 오일 프리 진공을 생성할 수 있습니다. 회수 펌프는 극저온 응축, 이온 반응 또는 화학 반응그리고 움직이는 부분이 없습니다.

설계에 따른 진공 펌프 유형

디자인에 따라 진공 펌프펌핑 과정에서 가스가 오일에 노출되는지 아니면 물에 노출되는지에 따라 오일(습식)과 건식(오일 프리)으로 나눌 수 있습니다.

습식 펌프 설계에서는 윤활 및/또는 밀봉을 위해 오일이나 물을 사용합니다. 이 액체는 펌핑된 가스를 오염시킬 수 있습니다. 건식 펌프는 유동 부분에 액체가 없으며 펌프의 회전 부분과 고정 부분 사이의 밀봉된 간격에 의존합니다. 가장 자주 사용되는 씰은 펌핑된 가스에서 펌프 메커니즘을 분리하기 위해 폴리머(PTFE) 또는 다이어프램입니다. 건식 펌프는 습식 펌프에 비해 오일 시스템 오염 위험을 줄입니다.

다음 설계는 아래 설명된 기본(전진공) 펌프로 가장 자주 사용됩니다.

1차 포어라인 펌프. 작동 원리. 디자인 옵션

오일로 채워진 로터리 베인 펌프

(습식, 체적)

회전 날개 펌프에서는 가스가 흡입구로 들어가고 편심으로 장착된 로터에 의해 포집되어 가스를 압축한 후 배출 밸브로 전달합니다. 스프링 장착 밸브를 사용하면 대기압을 초과할 때 가스가 배출될 수 있습니다. 오일은 블레이드를 밀봉하고 냉각하는 데 사용됩니다. 로터리 펌프에 의해 달성되는 압력은 단계 수에 따라 결정됩니다. 2단계 설계는 1 x 10-3mbar의 압력을 제공할 수 있습니다. 생산성 범위는 0.7~275m3/h입니다.

워터 링 진공 펌프. 설계 및 작동 원리

(습식, 체적)

액봉식 펌프는 펌프 하우징 내부에 편심으로 위치한 회전 임펠러를 사용하여 가스를 압축합니다. 액체는 펌프에 공급되고 원심 가속도를 통해 움직이는 원통형 링을 형성합니다. 이 링은 압축실인 임펠러 블레이드 사이의 공간에 일련의 씰을 생성합니다. 임펠러 회전축과 펌프 케이싱 사이의 편심으로 인해 임펠러 블레이드 사이의 부피가 감소하여 가스가 압축되고 출구 파이프를 통해 방출됩니다. 이 펌프는 샤프트와 임펠러가 움직이는 유일한 부품이므로 간단하고 견고한 디자인을 가지고 있습니다. 액봉식 펌프는 출력 범위가 크고 15°C 온도에서 물을 사용할 때 30mbar의 압력을 제공할 수 있습니다. 다른 액체를 사용할 때는 더 많은 압력이 가능합니다. 저기압. 사용 가능한 용량 범위는 25~30,000m3/h입니다.

다이어프램 진공 펌프

(건조량)

다이어프램 펌프는 로드에 연결되어 반대 방향으로 교대로 움직이는 유연한 다이어프램을 사용하여 가스가 다이어프램 위의 공간으로 들어가 완전히 채워집니다. 그러면 흡기 밸브가 닫히고 배기 밸브가 열려 가스가 배출됩니다.

다이어프램 진공 펌프는 소형이며 정비가 매우 쉽습니다. 다이어프램과 밸브는 일반적으로 작동 시간 10,000시간 이상 지속됩니다. 다이어프램 펌프는 깨끗한 고진공에서 소형 터보분자 펌프를 지원하는 데 사용됩니다. 이것은 펌프입니다 저전력, 샘플 준비를 위해 연구 실험실에서 널리 사용됩니다. 일반적인 최종 압력은 5 x 10-3mbar입니다. 용량은 0.6~10m3/h(0.35~5.9ft3/min)입니다.

스크롤 진공 펌프

(건조량)

펌프의 주요 구성요소는 나선형 회전자와 고정자입니다. 팽창된 가스는 나선형 회전 로터의 중심에 도달하면 좁아지는 큰 원형 공간으로 들어갑니다. PTFE 폴리머 씰은 펌핑된 가스에 오일을 사용하지 않고도 펌프 볼류트 사이를 단단히 밀봉합니다. 달성 가능한 압력 1 × mbar. 용량은 5~46m3/h입니다.

부스터 펌프

더블 로터 진공 펌프

(건조량)

더블 로터 펌프는 주로 부스터 펌프로 사용되며 대량의 가스를 제거하도록 설계되었습니다. 두 개의 로터가 서로 닿지 않고 회전하면서 펌프를 통해 가스를 한 방향으로 연속적으로 이송합니다. 이는 1차/포어라인 펌프의 성능을 향상시켜 펌핑 속도를 약 7:1로 높이고 최종 압력을 약 10:1로 향상시킵니다. 부스터 펌프에는 2개 이상의 로터가 있을 수 있습니다. 일반적인 최종 압력<10-3 Торр может быть достигнуто (в сочетании с первичными насосами). Производительность составляет подобных агрегатов может достигать около 100 000 м3/ч.

캠기어 펌프

(건조량)

캠기어 펌프에는 반대 방향으로 회전하는 두 개의 캠이 있습니다. 진공 펌프의 작동 패턴은 가스가 위에서 아래로가 아닌 축 방향으로 전달된다는 점을 제외하면 회전식 펌프와 유사합니다. 로브 펌프와 2로터 펌프를 조합하여 사용하는 경우가 많습니다. 로터 스테이지와 캠 스테이지는 하나의 공통 샤프트에 장착됩니다. 이 유형의 펌프는 열악한 산업 환경에 맞게 설계되었으며 고성능을 제공합니다. 일반적인 한계 압력은 1 x 10-3mbar입니다. 생산성 범위는 100~800m3/h입니다.

스크류 펌프

(건조량)

장치의 주요 작동 부분은 서로 닿지 않는 두 개의 회전 나사입니다. 회전은 가스를 한쪽 끝에서 다른 쪽 끝으로 전달합니다. 나사는 가스가 통과할 때 나사 사이의 공간이 작아지고 가스가 압축되어 입구 압력이 감소하도록 설계되었습니다. 이 펌프는 고성능을 가지고 있습니다. 스크류 펌프는 액체와 불순물이 포함된 매체를 처리할 수 있으며 열악한 조건에서도 잘 작동합니다. 일반적인 최종 압력은 약 1 × 10-2 Torr입니다. 생산성은 750m3/h에 달할 수 있습니다.

2차(고진공) 펌프

터보분자 펌프

(건성, 운동성)

터보분자 펌프는 가스를 고속으로 추진하는 고속 회전 각진 블레이드를 사용하여 운동 에너지를 가스 분자로 전달하는 방식으로 작동합니다. 블레이드 팁의 회전 속도는 일반적으로 250-300m/s입니다. 회전하는 블레이드의 충격을 받아 가스 분자가 출구쪽으로 이동합니다. 터보분자 펌프는 낮은 압력을 제공하고 성능 매개변수가 낮습니다. 일반적인 최종 압력은 7.5 x 10-11 Torr입니다. 성능 범위는 50~5000l/s입니다. 펌프 단계는 종종 감속 단계와 결합되어 터보분자가 더 높은 압력(> 1 Torr)에 도달할 수 있도록 합니다.

확산 증기 오일 펌프

(습식, 운동)

증기 확산 펌프는 가스를 입구에서 출구로 이동시키는 고속 가열 오일 흐름을 사용하여 운동 에너지를 가스 분자에 전달합니다. 이렇게 하면 입구 압력이 감소됩니다. 이 디자인꽤 구식입니다. 시장에서는 대부분 더 편리한 건식 터보분자 펌프로 대체되고 있습니다. 오일 확산 펌프는 움직이는 부품이 없으며 높은 신뢰성을 제공합니다. 이 진공 펌프는 가격이 저렴합니다. 최종 압력은 7.5 x 10-11 Torr 미만입니다. 성능 범위 10 - 50,000l/s.

극저온 펌프

(건식, 가스 포집 기술)

극저온 펌프는 가스와 증기를 자체적으로 펌핑하는 대신 포집하고 저장하는 방식으로 작동합니다. 이 유형의 펌프는 극저온 기술을 사용하여 매우 낮은 온도에서 가스를 얼리거나 포집합니다. 차가운 표면 10 ° K ~ 20 ° K (마이너스 260 ° C)의 온도에서 (극저온 응축 또는 흡수). 이 펌프는 매우 효율적이지만 가스 저장 용량이 제한되어 있습니다. 수집된 가스/증기는 주기적으로 펌프에서 제거되어 표면을 가열해야 합니다. 다른 진공 펌프를 사용하여 펌핑됩니다. 이 과정을 재생이라고도 합니다. 극저온 펌프는 차가운 표면을 생성하기 위해 추가 압축기 냉각 시스템을 설치해야 합니다. 이 펌프는 7.5 x 10-10 Torr의 압력에 도달할 수 있으며 용량 범위는 1200 ~ 4200 l/s입니다.

진공펌프의 주요 제조사

다음 제조업체로부터 진공 펌프를 구입할 수 있습니다.

부시 www.buschvacuum.com

베커 www.beckerpumps.com

엘모 리엣슐레 http://www.gd-elmorietschle.com/en

NASH http://www.gdnash.com/liquid_ring_vacuum_pumps/

Robuschi http://www.gardnerdenver.com/en/robuschi/products/vacuum-pumps

파이퍼 그룹 group.pfeiffer-vacuum.com

삼손 펌프 www.samson-pumps.com

플런저(피스톤) 진공 펌프. 장치를 우회합니다. 유해한 공간

플런저 진공 펌프는 가스를 대기압으로 압축할 수 있는 일종의 기계식 진공 펌프입니다. 이러한 장치에는 복동식 피스톤 압축기와 유사한 장치가 있습니다. 주요 차이점은 플런저 진공 펌프의 압축비가 더 높다는 것입니다.

왼쪽이 초기단계, 중앙 2곳이 중간단계, 오른쪽이 최종단계

플런저는 편심을 둘러싸는 원통형 부분과 힌지 홈에서 자유롭게 움직이는 속이 빈 직사각형 부분으로 구성됩니다. 플런저의 평평한 부분이 회전하면 힌지도 펌프 하우징 시트에서 자유롭게 회전합니다. 이 플런저에는 가스가 펌핑되는 공동에서 펌프 챔버로 들어가는 채널이 장착되어 있습니다. 스풀이 움직일 때 입구가 미리 닫혀 펌프의 입구 부분으로 가스의 역류가 유입되는 것이 제한됩니다. 낭비되는 공간을 줄일 수 있는 가능성도 있습니다. 펌프의 로터와 실린더 사이의 접촉의 견고성은 로터와 실린더 사이의 쐐기에 두꺼운 오일 층이 형성된다는 사실에 의해 보장됩니다.

기계식 진공 펌프는 대기압에서 시작하여 볼륨을 펌핑합니다. 펌핑된 가스가 대기로 방출된다는 사실로 인해 기계식 진공 펌프에 비해 최고 작동 압력, 최고 시동 및 해제 압력과 같은 특성이 사용되지 않습니다. 주요 특징오일 씰이 있는 기계식 진공 펌프는 다음과 같습니다.

최대 잔압;
행동 속도.

기계식 진공 펌프

기계식 진공 펌프는 특정 구성 및 양의 가스 흐름으로 작동 유체가 특정 간격으로 펌핑되는 용기에서 대기압 이하의 압력을 얻거나 유지하는 데 사용되는 가스 제거 장치입니다.

작업은 이렇습니다 펌핑 장치펌프 작동 부품의 기계적 움직임으로 인해 가스가 이동하여 펌핑 작업을 수행한다는 사실에 기초합니다. 가스로 채워진 부피는 입구에서 차단되어 출구로 이동합니다. 가스는 가스 분자에 전달되는 운동량 충격의 결과로 펌핑 장치의 출구로 체계적으로 촉진됩니다.

이 유형의 펌프의 설계 특징 및 작동 모드에 따라 7가지 유형의 펌프가 구별됩니다(스크류/다이어프램/피스톤/회전 날개/스풀/루츠/스크롤). 작동유체의 종류에 따라, 기계식 펌프분자적(물질의 분자 흐름으로 인한 기능) 및 체적적(물질의 층류로 인한 기능)일 수 있습니다. 기계식 진공펌프는 진공농도(고, 저, 중)에 따라 구분됩니다. 게다가, 이 유형펌프는 윤활유 없이 작동할 수 있는 펌프와 윤활유를 사용하여 작동할 수 있는 펌프로 구분됩니다.

이러한 유형의 펌핑 장치는 화학, 야금, 전자, 식품 산업, 의학, 우주 비행 등 다양한 산업 분야에서 사용됩니다. 기계식 진공 펌프는 기술 공정(예: 금속 재용해, 박막 증착, 공간 조건 시뮬레이션 등)뿐만 아니라 다양한 산업 설비에도 사용됩니다.

펌핑 장치에 대한 수요가 증가함에 따라 기계식 진공 펌프는 지속적으로 개량 및 개발이 이루어지고 있으며, 성능이 향상된 펌핑 장치가 개발되고 있습니다.

이러한 펌프의 작동 속도는 펌핑되는 가스의 유형에 따라 달라지지 않습니다. 잔류 압력은 펌핑 장치의 설계와 작동 유체의 특성에 따라 달라집니다. 작동 유체는 일반적으로 오일이며 필요한 특성 목록을 가지고 있습니다.

낮은 산도;
점도;
좋은 윤활 특성;
펌프 작동 온도 범위에서 낮은 포화 증기압;
가스 및 증기의 낮은 흡수;
온도 변화에 따른 점도 안정성;
대기압과 동일한 간격의 압력 차이를 견딜 수 있는 얇은(0.05-0.10mm) 유막의 강도가 높습니다.

기계식 진공 펌프 특성의 안정성은 표면 사이의 틈 크기, 틈 수, 마찰 표면을 윤활하는 오일의 품질에 따라 달라집니다.

플런저 진공 펌프에는 바이패스 장치를 장착하여 효율성을 높일 수 있습니다. 바이패스 장치는 디자인이 다를 수 있습니다. 이들의 기능은 피스톤 행정이 끝날 때 피스톤 양쪽의 압력을 동일하게 만드는 것입니다.

이러한 채널이 없으면 피스톤이 왼쪽에서 오른쪽으로 움직일 때 유해한 공간에 남아 있는 압축 가스가 팽창합니다. 이 경우, 남은 압축가스는 압력레벨을 갖게 됩니다. p2. 곡선 개 1흡입압력까지 p 1그리고 p 1그리고 λ 0 =V 1 /V. 진공 펌프에서 피스톤이 맨 왼쪽 위치에 있을 때 남은 가스는 실린더의 오른쪽 공간으로 이동합니다. 여기서 압력은 다음과 같습니다. p 1. 유해한 공간의 압력은 다음과 같이 떨어집니다. p2에게 피인,나머지 가스는 곡선을 따라 팽창합니다. 파. 흡입은 피스톤 행정의 시작 부분에서 시작됩니다( λ 0 =(V" 1 /V)> λ 0). 피스톤이 반대 방향(오른쪽에서 왼쪽)으로 움직일 때도 유사한 과정이 발생합니다. 결과적으로 체적 효율이 0.8에서 0.9로 증가합니다. λ 0 .

유해공간의 존재이는 피스톤 진공 펌프가 절대 진공을 생성할 수 없고 특정 잔류 압력에 해당하는 이 값에 이론적 한계가 있는 이유입니다. 피 홍보. 크기 피 홍보우회가 없는 경우가 있는 경우보다 더 큽니다.

진공펌프가 연속적으로 작동하면 흡입되는 가스의 양은 대기로 방출되는 공정가스의 양과 동일하며 외부에서 누출되는 부분을 통해 흡입되는 양은 시간이 지나도 변하지 않습니다. 진공 펌프 샤프트의 전원 표시기도 변경되지 않습니다. 바이패스가 장착된 기계의 경우 이 매개변수가 몇 배 더 높다는 점에 유의해야 합니다. 우회된 압축 가스량의 팽창 작업이 손실됩니다.

오늘날 상당히 많은 물리적, 화학적 공정이 진공 환경에서 수행됩니다. 이를 생성하기 위해 다양한 유형과 유형의 진공 펌프가 사용됩니다. 작업 유형, 기술적 능력, 기능적 목적에 따라 구분됩니다. 오늘날 진공 장비 제조업체는 용적형 및 비볼륨 펌프를 생산합니다.

항해:

체적 기계 설비는 움직이는 작업 요소의 작용을 통해 공기를 펌핑합니다. 챔버의 부피가 감소함에 따라 점차적으로 공기를 압축합니다. 이 유형의 펌프에는 다이어프램, 베인 로터, 액체 링, 캠 및 나선형 작동 요소가 포함된 설치가 포함됩니다. 일반적으로 10-2mmHg의 저진공 및 중간 진공을 생성하는 데 사용됩니다. 미술. 일부 설치에서는 다음을 생성할 수 있습니다. 고혈압.

다른 펌프는 사용하지 않습니다 기계적 원리가스에 노출되는 작업 저온또는 진공 생성에 기여하는 기타 현상. 이 유형의 펌프는 고진공 및 초고진공을 생성하는 데 사용됩니다. 여기에는 확산, 증기 오일, 다중 충전, 게터, 게터 이온 및 기타 펌프가 포함됩니다. 그러나 이러한 펌프의 대부분은 포어라인 펌프와 함께 작동하여 필요한 압력을 제공합니다. 이는 예비 진공을 생성하는 데 필요하며 모든 유형의 기계식 펌프로 대표됩니다.

가정용 진공펌프

국내 진공펌프는 해외 설치와 달리 크기가 크고 재질이 고품질 재료, 고성능, 신뢰성. 그들은 농업뿐만 아니라 다양한 산업 분야에서 사용될 수 있습니다. 동일한 시리즈의 국내 샘플은 디자인이 비슷하지만 수정 사항이 많습니다. 대부분의 펌프 요소는 다른 모델에 적합하므로 유지 관리성이 높습니다.

우리나라에서 생산되는 가장 일반적인 모델에는 NVR 및 BBN 시리즈 장치가 있습니다. 이들은 다양한 시스템에서 널리 사용되지만 디자인이 크게 다릅니다. 이 모델에는 크기, 기본 성능 지표 및 잔압이 다른 많은 수정 사항이 있습니다. HBP 설비는 틈새를 밀봉하도록 설계된 광물 및 반합성 진공 오일을 사용합니다. VVN 펌프에서는 이 기능이 일반적으로 물로 대표되는 작동 유체에 의해 수행된다는 사실 때문에 추가 윤활 요소가 사용되지 않습니다.

진공 펌프 NVR

NBP 베인 진공 펌프는 저진공 및 고진공을 생성하는 데 사용됩니다. 광범위한 설치를 통해 산업, 농업, 목공, 식품 및 기타 기업에서 사용할 수 있습니다. 이 장치는 짧은 시간 내에 높은 잔압을 갖는 진공을 생성하는 능력으로 구별됩니다. HBP 펌프는 다양한 유형의 작업을 수행할 수 있기 때문에 보편적입니다.

모델 범위는 NVR-0.1D, 2NVR-0.1D, 2NVR-0.1DM, NVR-1, NVR-4.5D, 2NVR-5DM, 2NVR-5DM1, 2NVR-60D, 2NVR-90D , 2NVR -250D. 장치는 1단계 또는 2단계 작동 유형을 가질 수 있으며 가스 밸러스트 밸브로 수정될 수 있으며 다양한 용량을 갖습니다. 이러한 유형의 설치는 다음과 같은 작업을 수행할 수 있습니다. 효율적인 펌핑진공 시스템에 먼지, 흙, 응결물이 전혀 없는 경우에만 가능합니다.

진공 펌프 VVN

BBN 모델 범위의 진공 펌프는 작동을 수행할 때 시스템에서 액체가 사용된다는 점에서 다른 펌프와 크게 다릅니다. 일반적으로 이 용량에는 물이 사용됩니다. 펌프는 더 좁은 기능을 가지고 있지만 동시에 많은 활동 영역에서 없어서는 안 될 요소입니다.

액봉식 진공 펌프 VVN의 주요 장점:

펌핑된 혼합물을 정화할 수 있고;
기계적 오염이 있는 시스템에 적용 가능;
환경 청결;
시스템에 진공 오일 부족;
사용 및 유지 관리의 용이성;
낮은 전력 소비;
유지보수성;

VVN 진공 펌프는 식품, 화학, 의료, 펄프 및 제지, 미생물학, 농업, 목공, 제약 및 향수 산업에 사용됩니다.

산업용로용 진공펌프

산업용 용광로에서는 어닐링, 표준화, 경화 작업 속도를 높이고 재료의 품질을 향상시키기 위해 진공 펌프가 사용됩니다. 진공 공간에서는 모든 화학적, 물리적 공정이 빠르고 효율적으로 수행됩니다.

진공 펌프는 아크, 유도, 열 및 수소 유형의 산업용 로에 사용할 수 있습니다. 종종 낮은 잔류 압력을 보장하기 위해 비체적 유형의 작용을 갖는 확산로가 사용됩니다.

효과적으로 시행하기 위해서는 열처리산업용로는 충분한 펌핑 속도를 제공하는 펌프를 사용해야 합니다. 이를 통해 고성능을 기대할 수도 있습니다. 그 이하도 아니고 중요한 지표잔류 압력이지만 수행되는 작업 유형에 따라 용광로마다 크게 다를 수 있습니다.

기후 챔버용 진공 펌프

기후 챔버는 품질을 연구하는 데 필요한 장비입니다. 다양한 재료그리고 단위. 작업을 효율적이고 신속하게 수행하기 위해 설치에는 진공 펌프가 사용됩니다.

기후 챔버에서 펌프를 사용하려면 다음을 충족해야 합니다.

상승/하강 온도를 견뎌냈습니다.
높은 습도;
충분한 수준의 진공을 생성했습니다.
필요한 압력을 생성하고 유지할 수 있는 능력이 있었습니다.

로터리 베인 진공 펌프

로터리 베인 펌프는 다음 작업에 탁월합니다. 산업 응용. 넓은 범위모델을 사용하면 다양한 유형의 작업을 수행할 수 있습니다. 잔류 압력과 속도가 높은 설비는 기후 챔버 및 열처리로에 사용됩니다.

설치는 높은 신뢰성, 내마모성 및 유지 관리성을 갖추고 있습니다. 이는 진공을 생성하는 보편적인 수단으로 분류될 수 있습니다. 동시에 작동을 보장하려면 진공 시스템에서 기계적 불순물과 습기를 제거해야 합니다. 기후 챔버에서 작동하려면 스테인레스 스틸로 만든 펌프가 사용됩니다.

탈기실용 진공 펌프

탈기는 진공 펌프 없이는 일어날 수 없는 과정입니다. 그러나 다양한 재료에서 가스 및 가스 혼합물을 펌핑하는 주요 작업을 수행합니다. 밀도가 높은 물질에서 가스와 증기를 펌핑하려면 일반적으로 2단계 진공 펌프가 사용됩니다.

2단계 진공 펌프

2단 진공 펌프는 1단 펌프의 업그레이드 모델로 더 높은 성능을 제공합니다. 이러한 유형의 설치는 더 높은 압력을 생성해야 하는 생산 영역에서 널리 사용됩니다. 동시에, 그들은 믿을 수 있고 함께 사용될 수 있습니다 다양한 유형가스

2단계 진공 펌프에서 챔버는 서로 의존합니다. 이는 동기화에 도움이 되므로 생산성이 향상됩니다. 실제로 큰 치수가 없지만 동시에 최고의 기술 성능을 제공하기 때문에 매년 점점 더 인기를 얻고 있습니다.

건식 진공 펌프

건식 진공 펌프는 시스템을 오염시키지 않고 펌핑할 수 있기 때문에 점점 더 중요해지고 있습니다. 다른 설치와 달리 오일 씰을 사용하지 않습니다.

아날로그 설치와 달리 성능은 낮지만 매우 안정적입니다. 효율적이고 올바른 운영을 위해서는 주기적으로 실시하는 것이 필요합니다. 유지작동 중에 마모될 수 있는 플레이트를 교체합니다.

오일프리 진공 펌프

오일 프리 진공 청소기는 작업의 청결을 보장해야 하는 기업에서 사용됩니다. 나는 짧은 시간 내에 충분한 수준의 잔압을 생성해야 하는 실험실 연구에 자주 사용합니다. 설치는 매우 안정적이고 유지 관리가 용이합니다.

이러한 유형의 펌프를 만들 때 설계자는 마찰을 피하기 위해 요소 사이에 충분한 간격이 있어야 하지만 성능이 크게 저하될 정도로 크지 않은 것이 중요하기 때문에 신중하게 계산합니다.

고진공 진공 펌프

일반적으로 고진공 생성은 전진공 장치와 고진공 장치를 포함한 여러 펌프를 사용하여 발생합니다. 용적 단위 중 하나로 대표되는 전진공 펌프는 예비 배출을 수행하여 최대 97%의 가스를 펌핑하고, 고진공 펌프는 나머지 작업을 수행하여 한계 값에 도달합니다.

고진공 펌프로는 다음을 사용할 수 있습니다.

터보분자;
확산;
이온성;

터보분자 펌프

터보분자 펌프는 다른 고압 펌프에 비해 성능이 현저히 떨어집니다. 기계적 작동 원리를 갖고 있기 때문에 독립적으로 고진공을 생성할 수 있습니다. 설정은 10-2 – 10-8 Pa 범위에서 작동합니다. 주요 작동 메커니즘은 특정 각도에 위치한 디스크가 있는 고정자와 회전자로 표현됩니다.

가스 치환 분자 터보분자 펌프, 서로 충돌하여 이동 속도를 크게 높입니다. 로터는 10,000회전을 초과하는 속도로 회전하는데, 이는 고압이 생성되는 주요 원인입니다.

진공 이온 펌프

이온 또는 게터 이온 진공 펌프는 다른 고진공 펌프가 출현하기 전에 널리 사용되었습니다. 그들의 도움으로 10-6mbar의 압력이 생성됩니다. 오늘날 그들은 덜 자주 사용되지만 여전히 소비자를 찾습니다. 이 유형의 펌프는 환경 친화성과 초고진공을 얻는 유리한 방법이 특징입니다.

설비에서 분자는 가스나 게터층에 의해 포획되어 결합된 다음 설비의 부피 내에 유지됩니다. 사용하지 않을 때에도 진공 상태를 유지할 수 있습니다. 펌프의 주요 요소는 챔버 및 기타 고정 요소입니다. 이온펌프는 전력소모가 적고 소음이 적습니다.

매우 안정적이고 효율적인 건식 클로형 및 스크류형 진공 펌프는 일반 산업 공정뿐만 아니라 폭발성 및 부식성 환경에서 진공을 생성하는 데에도 널리 사용됩니다.

건식 진공 펌프 설계 및 생산 분야의 세계적 리더는 영국 회사인 Edwards입니다. Edwards는 건식 가스 펌핑 분야의 선구자입니다. 다양한 작동 조건에서 진공 펌프를 사용해 온 90년 이상의 경험 고함량먼지와 오염 물질을 제거하고 전 세계적으로 150,000개 이상의 건식 진공 펌프를 공급하여 가장 정교한 건식 진공 솔루션을 제공합니다.

건식 펌핑 기술은 운영 비용의 상당한 절감, 생산성 향상, 제품 품질 개선 및 더 많은 생산을 제공합니다. 유리한 조건작업장에서 노동. 이 기술보증 높은 수준오일 밀봉 펌프가 작동 범위의 가장자리에 있는 상황에서의 신뢰성. "건식" 펌프는 펌프 입구에서 허용 가능한 최고 수증기압으로 매체를 펌핑할 수 있으며, 이는 오일 씰이 있는 펌프의 최고 수증기압보다 몇 배 더 높으며 오염이 전혀 없는 상태에서 이 작업을 수행합니다. 이러한 기능 덕분에 이 펌프는 건조 공정 및 기타 산업 응용 분야의 진공 펌핑에 이상적입니다.

1984년 Edwards가 특허를 취득한 Drystar 클로형 건식 진공 기술은 한때 진공 분야의 혁신이었으며 오늘날까지도 전 세계적으로 계속해서 인기를 누리고 있습니다.

따라서 발톱 메커니즘을 갖춘 Edwards 회사의 첫 번째 펌프 모델은 등록 상표 Drystar 스틸 GV 시리즈 펌프는 현재 전 세계적으로 다양한 일반 산업 공정, 야금, 건조 공정, 표면 처리 및 반도체 장치 생산에 설치되어 있습니다. GV 펌프의 작동 원리는 클로 그립 메커니즘을 기반으로 하며, 펌프 설계에 사용된 추가 루츠 단계를 통해 작동 범위에서 펌핑 속도를 높이고 최대 작동 속도를 달성할 수 있습니다.

건식 클로 펌프 개발 중에 얻은 경험은 EDP 시리즈 펌프에 사용되었으며, GV 시리즈 펌프와의 주요 차이점은 펌핑 매체 흐름의 수직 방향입니다. 이로 인해 액체가 작업 볼륨에 들어갈 경우 , 펌프에 영향을 주지 않고 즉시 펌프 밖으로 흘러나옵니다. 동시에 고온, 펌프 내부에 유지되어 화학적 활성 물질을 포함한 매체의 응축과 결과적으로 부식의 영향을 방지합니다. 이 기능 덕분에 EDP 시리즈 펌프는 높은 요구 사항을 최적으로 충족합니다. 기술 프로세스화학 및 제약 산업.

클로 그립 메커니즘을 사용한 건식 펌핑 기술과 병행하여 스크류 펌프 로터를 사용한 진공 청소 기술이 개발되었습니다.

IDX 시리즈 프로그레시브 캐비티 펌프는 다음과 같은 공정에 이상적입니다. 고성능진공 상태에서 작동하거나 대기압에서 빠르게 펌핑하는 경우. 펌프는 보상 시스템을 단순화하는 독특한 양면 대칭 나사 메커니즘을 사용합니다. 열팽창샤프트 다른 제조업체의 제품과 유사하지 않은 이 디자인을 사용하면 먼지 함량이 높은 가스 매체를 쉽게 펌핑할 수 있습니다. 펌프가 다단계 진공 시스템에서 포어라인 펌프로 사용될 수 있다는 점에 유의하는 것이 중요합니다. IDX 펌프 기반 시스템은 강철 배출 공정의 표준 솔루션입니다.

그 후, GV-EDP 펌프의 "화학" 버전의 출현과 유사하게 CDX 스크류 펌프가 개발되었습니다. 이는 IDX 펌프의 변형이지만 화학 및 석유화학 분야에서 사용할 수 있는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 생산 조건.

부스터 펌프 EH/HV/SN과 결합하여 GV, EDP, IDX 시리즈의 건식 진공 펌프는 최대 120,000m 3 /h의 용량을 달성할 수 있습니다. 특별한 경우로, 야금용 IDX 기반 시스템은 다음과 같습니다. 기성 솔루션 50, 100, 150톤용 레이들-로 시스템용(진공 탈기 VD 및 진공 탈탄 VOD 공정) 추가 단계를 추가하여 펌핑 속도를 변경할 수 있으므로 특정 공정의 요구 사항을 충족하도록 진공 시스템을 설계할 수 있습니다.

현재 일반 산업 공정을 위한 차세대 진공 펌프인 GXS 스크류형 펌프가 널리 보급되고 있습니다. 이 펌프는 즉시 사용 가능한 솔루션으로, 배송 후 즉시 사용할 수 있습니다. 케이스에 직접 위치한 제어판을 갖추고 있으며, 특정 고객의 요구 사항을 완벽하게 충족하는 시스템을 구성할 수 있는 다양한 추가 옵션도 갖추고 있습니다. 광범위한 GXS 펌프는 단일 스테이지 펌프 폼 팩터 또는 부스터 펌프(단일 하우징)와 결합하여 제공될 수 있으며, 이는 160 ~ 3,500m 3 /h의 성능을 허용합니다.

현재 Edwards는 화학 및 제약 산업의 진공 공정에 중점을 두고 있습니다. 따라서 GXS를 기반으로 CXS 시리즈 펌프가 개발되었습니다. 이 펌프와 GXS의 주요 차이점은 펌프 전자 제어 시스템의 모든 요소가 별도의 방폭 장치에 배치된다는 것입니다.

당사 카탈로그의 관련 섹션에서 Edwards 건식 진공 펌프의 기능과 특성에 대해 자세히 알아볼 수 있습니다.

제조업체 Edwards의 혁신적인 개발 - 화학, 석유화학 및 제약 산업의 복잡한 기술 공정을 위한 EDS 시리즈 펌프

다양한 분야에서 인간 활동진공이 필요합니다. 이 용어는 압력이 대기압보다 낮은 기체상의 상태를 나타냅니다. 밀리미터 단위로 측정됩니다. 수은아니면 파스칼. 가스의 희박화는 제한된 부피의 장치에서 물질을 강제로 제거할 때 발생합니다. 이러한 목적으로 설계된 기술 장치를 진공 펌프라고 합니다. 단독으로 사용하거나 더 많은 항목에 포함될 수 있습니다. 복잡한 시스템.

진공은 다양한 기술 장치에 널리 사용됩니다. 물의 끓는점을 낮추거나 화학 액체, 구성의 균질성을 높여야 하는 재료에서 가스를 제거하고 멸균 처리 및 보관 조건을 만듭니다. 작은 크기와 경제적인 에너지 소비로 최신 진공 펌프를 사용하면 깊은 진공도에 신속하게 도달할 수 있습니다. 이는 다양한 프로세스 및 활동 분야에서 사용됩니다.

유지하기 위해 정유 및 화학 산업에서 필요한 조건생성된 혼합물의 반응 및 분리 과정;
균일한 구조와 기공이 없는 부품을 만들기 위해 금속 및 기타 재료의 가스를 제거할 때;
온도를 높이지 않고 제품을 빠르게 건조시키기 위한 제약 및 섬유 산업;
식품 산업에서 우유, 주스, 육류 및 생선 제품을 포장할 때;
습기가 없어야 한다는 요구 사항이 증가한 냉동 및 기타 장비를 진공 청소기로 청소하는 과정에서
자동의 정상적인 작동을 위해 컨베이어 라인그리퍼로 진공 흡입 컵을 사용하는 것;
생산 및 연구 실험실을 장비할 때;
호흡 장치 및 치과 진료소 운영 중 의학;
열 필름 고정용 인쇄에 사용됩니다.

진공 펌프의 작동 원리

진공은 제한된 공간에서 물질을 기계적으로 제거하여 생성됩니다. 기술적으로는 이것이 가능하다 다양한 방법으로. 작동 원리 제트 진공 펌프배출되는 물이나 증기의 흐름에 의한 가스 분자의 동반을 기반으로 합니다. 고속이젝터 노즐에서. 그 디자인에는 진공이 생성되는 측면 파이프를 연결하는 것이 포함됩니다.

이 디자인의 장점은 움직이는 부품이 없다는 점이지만 단점은 물질의 혼합과 효율성이 낮다는 것입니다.

기술적으로 가장 널리 사용되는 기계 장치. 회전 또는 왕복 운동하는 주요 부품을 갖춘 진공 펌프의 작동은 하우징 내부에 주기적으로 확장 공간을 만들고 흡입 파이프에서 가스를 채운 다음 배출구를 통해 밀어내는 것으로 구성됩니다. 구조적 장치진공 펌프의 디자인은 매우 다양할 수 있습니다.

진공 펌프의 주요 유형

진공 생성 장치 제조에는 펌핑 매체의 화학적 영향에 강하고 기계적 강도가 충분한 금속 및 플라스틱 재료가 사용됩니다.

장치 장착의 정확성과 표면 접촉의 견고성에 많은 주의를 기울여 가스의 역방향 누출을 제거합니다. 다음은 설계와 작동 원리가 다른 주요 진공 펌프 유형 목록입니다.

워터링 액봉식 진공 펌프는 진공을 생성하는 데 사용되는 액봉식 장치의 옵션 중 하나입니다. 순환 정수

엔진이 시동되면 임펠러가 하우징 내벽을 따라 물을 가속시킵니다. 초승달 모양의 진공 영역이 로터와 로터 사이에 형성됩니다. 펌프 입구 파이프에서 가스가 유입됩니다. 움직이는 블레이드는 샤프트를 따라 이동하여 배출구를 통해 배출됩니다. 이 유형의 단위가 자주 사용됩니다. 부분적인 가스 정화용물과의 강렬한 접촉으로 인해.

액체를 작업체로 사용하면 많은 이점을 얻을 수 있습니다.

로터와 펌프 본체 사이의 공간에서 물이 회전하면 가스의 역류 가능성이 제거되고 씰이 교체되며 부품의 정밀 제조 요구 사항이 줄어듭니다.
펌프의 모든 회전 부품은 지속적으로 액체로 플러시되어 마찰을 줄이고 열 제거를 향상시킵니다.
이러한 장치는 수리가 거의 필요하지 않으며 수명이 길고 전력 소비도 최소화됩니다.
물방울과 작은 기계적 불순물을 포함하는 가스로 작업해도 제품에 부정적인 영향을 미치지 않습니다. 기술적 조건장비.

후자의 상황은 습기가 들어 있는 용기에서 공기를 펌핑하기 위해 이러한 펌프를 사용할 때 중요합니다. 프레온으로 채우기 전에 시스템을 비울 때 에어컨 및 기타 냉동 장치에 사용됩니다.

베인 로터

이러한 펌프는 조심스럽게 연마된 원통형 몸체를 가지고 있습니다. 내면그리고 그 안에 로터가 있습니다. 축이 일치하지 않으므로 측면 간격의 크기가 다릅니다. 로터에는 특수 기능이 포함되어 있습니다. 이동식 플레이트, 스프링에 의해 몸체에 눌려 여유 공간을 가변 볼륨의 섹터로 나눕니다. 엔진을 켜면 가스가 움직이기 시작하여 흡입 파이프에 항상 진공이 생성되고 압력 파이프에 항상 과도한 압력이 생성됩니다.

마찰을 줄이기 위해 플레이트는 다음과 같이 만들어집니다. 감마재또는 특수 저점도 오일을 사용하십시오. 이 유형의 펌프는 상당히 강한 진공을 생성할 수 있지만 펌핑되는 액체나 가스의 순도에 민감하고 정기적인 청소가 필요하며 미량의 윤활제로 제품을 오염시킵니다.

다이어프램 피스톤

이 작동 원리의 펌프 작동 본체는 다음과 같습니다. 유연한 막레버 메커니즘과 관련이 있습니다. 현대식으로 제작되었습니다 복합 재료기계적 부하에 강합니다. 가장자리는 본체에 단단히 부착되어 있으며 중앙 부분은 전기 또는 공압 드라이브의 작용에 따라 구부러져 내부 챔버의 공간을 교대로 줄이거나 늘립니다.

부피 변화는 들어오는 가스나 액체의 흡입과 배출을 동반합니다. 두 개의 멤브레인이 역상으로 함께 작동하면 연속 펌핑 모드가 보장됩니다. 밸브 시스템은 흐름의 올바른 분배와 방향을 조절합니다. 메커니즘에는 펌핑된 제품과 접촉하는 회전 또는 마찰 부품이 없습니다.

에게 그러한 펌프의 장점다음을 포함해야 합니다:

그리스나 기계적 불순물로 인해 제품이 오염되지 않습니다.
완벽한 견고성, 누출 제거;
고효율;
흐름 제어의 용이성;
구조에 해를 끼치 지 않는 건조 모드에서의 장기 작동;
폭발성 환경에서 작업하기 위해 공압 드라이브를 사용할 수 있는 능력.

나사

스크류 펌프의 작동 원리는 다음과 같습니다. 회전하는 나사를 따라 액체나 기체가 변위되는 현상.이는 드라이브, 하나 또는 두 개의 나선형 회전자 및 해당 모양의 고정자로 구성됩니다. 높은 정확도부품 제조로 인해 펌핑된 매체가 뒤로 미끄러지는 것을 허용하지 않습니다. 결과적으로 펌프 출구에는 과도한 압력이 형성되고 입구에는 진공이 형성됩니다.